传感器

摘要

公开谐振传感器，其可设置成测量流体压力。该谐振传感器包括：可暴露于流体的膜片；在该膜片上提供的两个支架和具有至少两个梁的谐振器，其中每个梁悬置在这两个支架之间。每个梁的端在超过一个点处附连到对应的支架。通过在超过一个点处附连梁的每端到支架，该支架经受的力矩和反作用力可被平衡使得该支架和膜片由于谐振器梁的振动引起的扭曲减小。因此，该谐振传感器能够提高更精确的测量。

主权项

一种谐振传感器，其包括：可暴露于流体的膜片；在所述膜片上提供的两个支架，以及具有至少两个梁的谐振器，其中每个梁悬置在所述两个支架之间，其中每个梁的端在超过一个点处附连到支架；其中所述至少两个梁是彼此分离的。