一种单电机驱动双摆臂转动的装置

摘要

本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种单电机驱动双摆臂转动的装置，包括电机、单元固定板、减速器及摆臂单元，电机通过单元固定板安装在晶圆处理单元底座上，电机的输出端连接有减速器，在减速器的输出端连接有第二同步带轮，第二同步带轮的圆周上设有齿；电机的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元，摆臂单元包括带轮轴、第一同步带轮、同步传动机构、摆臂轴及摆臂，带轮轴及摆臂轴分别转动安装在单元固定板上，在带轮轴上连接有与第二同步带轮相啮合的第一同步带轮，第一同步带轮通过同步传动机构与摆臂轴的一端相连，摆臂轴的另一端连接有摆臂。本发明具有结构简单紧凑、定位准确、安装方便、价格低廉等特点。

主权项

一种单电机驱动双摆臂转动的装置，其特征在于：包括电机（14）、单元固定板（15）、减速器（13）及摆臂单元，其中电机（14）通过单元固定板（15）安装在晶圆处理单元底座上，所述电机（14）的输出端连接有减速器（13），在减速器（13）的输出端连接有第二同步带轮（12），该第二同步带轮（12）的圆周上设有齿；所述电机（14）的两侧对称设置有结构相同的摆臂单元，该摆臂单元包括带轮轴（17）、第一同步带轮（11）、同步传动机构、摆臂轴（8）及摆臂（1），所述带轮轴（17）及摆臂轴（8）分别转动安装在所述单元固定板（15）上，在带轮轴（17）上连接有与所述第二同步带轮（12）相啮合的第一同步带轮（11），所述第一同步带轮（11）通过同步传动机构与摆臂轴（8）的一端相连，摆臂轴（8）的另一端连接有摆臂（1）；所述电机（14）两侧的摆臂（1）通过电机（14）驱动分别摆动，完成对晶圆（18）的喷洒后复位。