激光划线方法以及装置

摘要

本发明是一种激光划线方法以及装置，将排列在划线方向的复数的光束光点以互相分离的状态形成在工件上，且使复数的光束光点移动在划线方向，而在工件形成线状划线沟槽的激光划线方法。复数的光束光点是从单束激光而得。可在不使装置构成复杂化下，以少量的能量形成更深的划线沟槽，或提升划线速度。

主权项

一种激光划线方法，是将排列在划线方向的两个光束光点以互相分离的状态形成在工件上，且使所述的两个光束光点移动在所述的划线方向，而在所述的工件形成线状划线沟槽，其特征在于：所述的两个光束光点是第1光束光点及第2光束光点，所述第1光束光点及第2光束光点是凭借双折射元件将单束激光沿着所述的划线方向分离成偏振方向互相正交的正常光成分与异常光成分，再将此分离的正常光成分与异常光成分分别加以聚焦而得，一面使激光脉冲振荡，一面进行所述光束光点在划线方向的移动，藉此，凭借下次脉冲产生的所述第2光束光点来形成与凭借先前脉冲产生的所述第2光束光点形成的孔连续的新孔，使所述第1光束光点紧跟着所述第2光束光点之后并凭借下次脉冲产生的所述第1光束光点来形成与凭借先前脉冲产生的所述第1光束光点形成的孔连续的新孔，且在由所述第2光束光点生成的电浆消灭之后，在所述工件的温度降低之前，照射所述第1光束光点，所述光束光点的直径在1μm以上200μm以下，所述的第1光束光点及第2光束光点的中心间距离是所述光束光点直径的2倍～10倍，所述脉冲振荡的频率在100Hz～1GHz，所述光束光点的移动速度在1mm/sec～1000mm/sec。