发明名称 |
低缺陷率电致变色装置的制造 |
摘要 |
先前的电致变色装置常常存在高缺陷率水平。这些缺陷可表现为损害电致变色转变的针孔或斑点。这一点对例如电致变色建筑玻璃等许多应用来说是无法接受的。缺陷率低的改良型电致变色装置可通过在单一整合沉积系统中沉积电致变色装置的某些分层组件来制造。当在例如玻璃窗等衬底上沉积和/或处理所述层时,所述衬底从未离开受控周围环境,例如具有极低粒子含量的低压受控氛围。所述层可使用物理气相沉积来沉积。 |
申请公布号 |
CN102388341B |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201080015115.8 |
申请日期 |
2010.03.31 |
申请人 |
唯景公司 |
发明人 |
马克·科兹洛夫斯基;艾瑞克·库尔曼;王仲春;迈克·斯科比;杰里米·狄克逊;安舒·普拉丹;罗伯特·罗兹比克基 |
分类号 |
G02F1/15(2006.01)I;G02F1/153(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/15(2006.01)I |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 |
代理人 |
章蕾 |
主权项 |
一种制造电致变色窗的方法,所述方法包含:在衬底上依序沉积(i)电致变色金属氧化物层、(ii)离子传导层和(iii)反电极层,以形成所述离子传导层将所述电致变色金属氧化物层与所述反电极层分开的堆叠,其中所述依序沉积的层各自使用在具有受控周围环境的单一整合沉积系统中的多个沉积台气相沉积,在所述受控周围环境中压力和气体组成受到控制,与所述整合沉积系统外的外部环境无关联,且其中在所述电致变色金属氧化物层、所述离子传导层和所述反电极层依序沉积期间的任何时间,所述衬底都不离开所述整合沉积系统;在具有锂金属目标的锂沉积台中的所述衬底上的所述电致变色金属氧化物层与所述反电极层中至少一者上沉积锂金属;以及在衬底架中平移所述衬底,所述衬底架在沉积期间使所述衬底固持在实质上垂直定向上,同时所述衬底平移过所述多个沉积台和所述锂沉积台。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |