发明名称 带温度加热测试的芯片测试座
摘要 本实用新型提供了一种带温度加热测试的芯片测试座,包括:盖体和板体,所述盖体上设置有一加热模组,所述板体上设置有芯片测试部件,所述盖体盖合于所述板体上时,所述加热模组正对所述芯片测试部件。所述加热模组设置于所述盖体内,被测芯片位于所述板体的所述测试部件上,所述盖体盖合于所述板体上,所述加热模组与所述被测芯片之间的距离短,所述加热模组与被测芯片表面的温差小。所述加热模组的温度恒定,无需等待时间,提高产能,同时所述盖体合于所述板体上后才开始加热,操作人员在操作过程中不会接触高温,降低操作人员的风险。
申请公布号 CN204347073U 申请公布日期 2015.05.20
申请号 CN201420805502.7 申请日期 2014.12.17
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 余东阳;陈险峰
分类号 G01R1/04(2006.01)I 主分类号 G01R1/04(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种带温度加热测试的芯片测试座,其特征在于,包括:盖体和板体,所述盖体上设置有一加热模组,所述板体上设置有芯片测试部件,当所述盖体盖合于所述板体上时,所述加热模组正对所述芯片测试部件。
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