发明名称 |
带温度加热测试的芯片测试座 |
摘要 |
本实用新型提供了一种带温度加热测试的芯片测试座,包括:盖体和板体,所述盖体上设置有一加热模组,所述板体上设置有芯片测试部件,所述盖体盖合于所述板体上时,所述加热模组正对所述芯片测试部件。所述加热模组设置于所述盖体内,被测芯片位于所述板体的所述测试部件上,所述盖体盖合于所述板体上,所述加热模组与所述被测芯片之间的距离短,所述加热模组与被测芯片表面的温差小。所述加热模组的温度恒定,无需等待时间,提高产能,同时所述盖体合于所述板体上后才开始加热,操作人员在操作过程中不会接触高温,降低操作人员的风险。 |
申请公布号 |
CN204347073U |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201420805502.7 |
申请日期 |
2014.12.17 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
余东阳;陈险峰 |
分类号 |
G01R1/04(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种带温度加热测试的芯片测试座,其特征在于,包括:盖体和板体,所述盖体上设置有一加热模组,所述板体上设置有芯片测试部件,当所述盖体盖合于所述板体上时,所述加热模组正对所述芯片测试部件。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |