| 发明名称 | 传片板 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种传片板，包括：一平板，所述平板内均匀设置有循环管，所述循环管内充入有流动性物质。将流动性物质充入均匀分布于所述平板内的循环管中，使得整个平板的温度均匀，当将经过第二次快速升温退火后的金属硅化物硅片放到传片板上时，所述金属硅化物硅片整个表面降温均匀，从而解决因降温不均而引起的接触电阻分布不均的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN204348694U | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201520035645.9 | 申请日期 | 2015.01.19 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 刘焕新 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种传片板，其特征在于，包括：一平板，所述平板内均匀设置有循环管，所述循环管内充入有流动性物质。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||