一种用于电沉积的阴极移动装置

摘要

本实用新型公开了一种用于电沉积的阴极移动装置，包括电沉积槽、阴极和阴极移动机构；所述的阴极移动机构包括动力梁、摆杆、阴极悬挂梁和顶杆。阴极移动装置工作时，动力梁在外力作用下作水平直线运动，动力梁带动摆杆运动，从而带动阴极悬挂梁和固定于阴极悬挂梁上的阴极作水平直线运动；当摆杆触碰到顶杆时，摆杆运动受阻并以顶杆为支点发生摆动，从而带动阴极悬挂梁和阴极在竖直平面内作周向运动。此装置提高了阴极表面流场分布和电流密度分布的均匀性，极大地改善了沉积层厚度分布均匀性，且结构简单、成本低廉。

主权项

一种用于电沉积的阴极移动装置，包括电沉积槽（6）、阴极（8）和阴极移动机构，其特征在于：所述的阴极移动机构包括动力梁（1）、摆杆（2、4）、顶杆（5、7）和阴极悬挂梁（3）；所述的阴极（8）固定于阴极悬挂梁（3）上；所述的摆杆（2、4）的一端分别与阴极悬挂梁（3）活动铰接；所述的摆杆（2、4）的另一端分别与动力梁（1）活动铰接于B、C处；所述的动力梁（1）置于电沉积槽（6）上方且可以作水平直线往复振动；所述的顶杆（5、7）的一端呈球状，另一端固定于电沉积槽（6）侧壁上。