微机械构件的制造方法和微机械构件

摘要

本发明涉及用于制造微机械构件的制造方法，包括：以第一绝缘层(14)至少部分地覆盖衬底的第一侧面(11)，由至少一个第一导电材料构成至少一个致动器板电极(12)、至少一个接触接头(34)和至少一个弹簧部件(32)，以第二绝缘层(36)覆盖至少所述至少一个致动器板电极(12)、至少一个接触接头(34)和至少一个弹簧部件(32)，由至少一个第二导电材料构成至少一个定子接触接头(16)，在衬底中构成至少一个第一沟道(38)来形成可移动质量(10)和保持结构的一框架(30)，其中，在第一方向上蚀刻，和去除第二绝缘层(36)的至少一个位于至少一个致动器板电极(12)与至少一个定子板电极(16)之间的部分质量，其中，在第二方向上蚀刻。本发明还涉及微机械构件。

主权项

用于制造微机械构件的制造方法，具有以下步骤：以第一绝缘层(14)至少部分地覆盖衬底的第一侧面(11)(S1)；将至少一个第一导电材料施加在所述第一绝缘层(14)上，由至少所述第一导电材料构成至少一个致动器板电极(12)、至少一个接触接头(34)和至少一个弹簧部件(32)，其中，这些致动器板电极(12)中的各一个与配属的接触接头(34)通过配属的弹簧部件(32)连接(S2)；以第二绝缘层(36)覆盖至少所述至少一个致动器板电极(12)、所述至少一个接触接头(34)和所述至少一个弹簧部件(32)(S3)；将至少一个第二导电材料施加在所述第二绝缘层(36)上，由至少所述第二导电材料构成至少一个定子板电极(16)(S5)；在所述衬底中构成至少一个第一沟道(38)，其中，借助所述至少一个第一沟道(38)从所述衬底结构化一个可移动质量(10)和保持结构的至少部分地包围所述可移动质量(10)的框架(30)，所述可移动质量(10)通过所述至少一个弹簧部件(32)与所述保持结构连接，其中，在从所述衬底的与所述第一侧面(11)相对的第二侧面(39)至所述第一侧面(11)的第一方向上进行蚀刻(S7)；和去除所述第二绝缘层(36)的至少一个位于所述至少一个致动器板电极(12)与所述至少一个定子板电极(16)之间的部分质量，其中，在与所述第一方向相反指向的第二方向上进行蚀刻(S11)，其中，构成至少一个贯穿所述框架(30)且与所述至少一个接触接头(34)的至少一个接触面(42)触点接通的贯穿触点(40)(S8至S10)。