发明名称 基于IP成像板的透射电镜成像扫描系统及其控制方法
摘要 本发明公开了一种基于IP成像板的透射电镜成像扫描系统及其控制方法。本发明的透射电镜成像扫描系统包括:透射电镜及扫描装置;其中,透射电镜中采用IP成像板,透过样品后的电子束曝光在IP成像板上形成影像;扫描装置对已曝光的IP成像板进行影像扫描,直接生成影像的数码信息。本发明采用IP成像板,曝光时间短,从而提高了透射电镜的灵敏度,操作快捷,图像对比度高;存储在IP成像板内的影像保持7天以上;IP成像板可在正常的可见光环境中操作,使用方便;IP成像板中的信息可选择性的重复读取,已曝光的IP成像板经消光后,可以重复利用近两万次。因此,本发明在可方便地观察图像的细节的同时,消除资源浪费和环境污染,提高测量精度。
申请公布号 CN102937600B 申请公布日期 2015.05.20
申请号 CN201210439813.1 申请日期 2012.11.06
申请人 北京大学 发明人 张焱;贾春燕;陈晶;冉书能;刘国超;李增杰
分类号 G01N23/22(2006.01)I 主分类号 G01N23/22(2006.01)I
代理机构 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 代理人 张肖琪
主权项 一种透射电镜成像扫描系统,其特征在于,所述透射电镜成像扫描系统包括:透射电镜及扫描装置;其中,所述透射电镜中采用IP成像板,透过样品后的电子束曝光在IP成像板上形成影像;所述扫描装置对已曝光的IP成像板进行影像扫描,直接生成影像的数码信息;所述扫描装置内置在所述透射电镜的照相室(15)内,所述照相室(15)内分为激发采集区(A)、消光区(B)和照相区(C);所述扫描装置包括:激光光源(21)、接收器(22)、消光灯(23)、传送机构(24)和计算机;其中,所述激光光源(21)和接收器(22)设置在激发采集区(A),所述消光灯(23)设置在消光区(B);已曝光的单片的IP成像板由所述传送机构(24)传输到激发采集区(A),所述激光光源(21)发射出激光激发IP成像板上的感光材料,得到相应波长的光信号,所述接收器(22)采集光信号,转化为数码信息,并将数码信息传送至位于所述照相室(15)外面的计算机;然后,所述传送机构将IP成像板传输至消光区(B),所述消光灯(23)对IP成像板进行消光,所述传送机构(24)将IP成像板传输至位于观察室(14)下的照相区(C),重新曝光成像。
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