发明名称 |
一种多波长特征X射线衍射测量装置和方法 |
摘要 |
本发明涉及一种能够在宽的波长范围内选择X射线管阳极靶材的某一特征X射线,测量被测晶体材料样品X射线衍射谱的多波长特征X射线衍射测量装置和方法。其装置包括X射线管、高压发生器、狭缝、测角仪、探测器、多道分析器等。本发明免除了滤波片或晶体单色器等的使用而导致特征X射线强度的大幅度衰减,通过调节X射线管的管电压和多道分析器的上、下阈,就能够选取测量所需波长的特征X射线,就能够在同一套装置上,既可以无损地测量样品表面的(波长较长的特征X射线)衍射线又可以无损地测量样品内部的(波长较短的特征X射线)衍射线,而且,本发明所述具有操作简便,检测时间较短,扫描测得的特征X射线衍射谱真实、可靠。 |
申请公布号 |
CN104634799A |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201310567101.2 |
申请日期 |
2013.11.15 |
申请人 |
郑琪 |
发明人 |
郑琪;赵春玲 |
分类号 |
G01N23/20(2006.01)I;G01N23/207(2006.01)I |
主分类号 |
G01N23/20(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种多波长特征X射线衍射测量装置,包括X射线管(1)、高压发生器(2)、入射狭缝(3)、样品台(4)、接收狭缝(5)、测角仪(6)、探测器(7)、多道分析器(8)、运动控制器(9)、计算机(10)、电源(11)等,其特征在于:所述X射线管(1)的阳极靶由Cu、Mo、Ag、W、Au、Pt等原子序数Z>10的金属或合金制成;且高压发生器(10)输出到X射线管(1)的管电压大于阳极靶的金属或合金的K系特征X射线激发电压的3倍;所述探测器(7)探测衍射的X射线经所述的多道分析器(8)完成特征X射线单色化和获得该衍射角2θ的能量色散衍射谱,并将记录的衍射的特征X射线光子数量和该2θ角的能量色散衍射谱输出到计算机(9),2θ定时扫描测量,即可测得位于样品台(4)上被测样品被测部位的靶材某一特征X射线的衍射谱,以及各2θ角的能量色散衍射谱。 |
地址 |
610041 四川省成都市武侯区玉洁东街1号15栋5单元601号 |