| 发明名称 | 一种晶圆测试装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆测试装置，包括：测试笔、用于传输所述测试笔的测试结果的信号输出部件；所述测试笔包括用于测试时与晶圆上的晶粒接触的笔头端；所述笔头端的外壁设置有用于指示测试结果的发光部，使得在测试笔在试晶圆时，测试的结果可以直观、醒目的、快速地呈现在操作者面前，操作者毋须频繁抬头查看测试结果，并对测试结果判断，有效提高测试效率和准确性，也减少了操作者的疲劳，提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204348687U | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201520010166.1 | 申请日期 | 2015.01.07 |
| 申请人 | 安徽安芯电子科技有限公司 | 发明人 | 汪良恩;张小明;马晓飞 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 王宝筠 |
| 主权项 | 一种晶圆测试装置，其特征在于，包括：测试笔、用于传输所述测试笔的测试结果的信号输出部件；所述测试笔包括用于测试时与晶圆上的晶粒接触的笔头端；所述笔头端的外壁设置有用于指示测试结果的发光部件；所述发光部件与所述信号输出部件电连接。 | ||
| 地址 | 247100 安徽省池州市经济开发区富安电子信息产业园10号 | ||