发明名称 基于晶硅光伏技术的硅基GaN发光器件及制备方法
摘要 一种基于晶硅光伏技术的硅基GaN发光器件,包括:一N型或P型硅(100)的衬底;一随机分布的正金字塔结构,其制作在衬底上;一缓冲反射层,其制作在正金字塔结构的表面,该缓冲反射层的材料为高温AlN或低温AlN;一发光层,其制作在缓冲反射层上,该发光层的表面平行于正金字塔结构表面,或平行于衬底的表面;一透明导电氧化物层,其制作在发光层上,该透明导电氧化物层的表面为一平面;一上电极层,其制作在透明导电氧化物层上,该上电极层为网状分布;一下电极层,其制作在衬底的背面。本发明可以有效地释放外延材料应力,从而得到高质量的外延GaN,制造低成本、高效的发光LED。
申请公布号 CN104638081A 申请公布日期 2015.05.20
申请号 CN201510028792.8 申请日期 2015.01.20
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 袁国栋;王克超;李晋闽
分类号 H01L33/22(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I 主分类号 H01L33/22(2010.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 任岩
主权项 一种基于晶硅光伏技术的硅基GaN发光器件,包括:一N型或P型硅(100)的衬底;一随机分布的正金字塔结构,其制作在衬底上;一缓冲反射层,其制作在正金字塔结构的表面,该缓冲反射层的材料为高温AlN或低温AlN;一发光层,其制作在缓冲反射层上,该发光层的表面平行于正金字塔结构表面,或平行于衬底的表面;一透明导电氧化物层,其制作在发光层上,该透明导电氧化物层的表面为一平面;一上电极层,其制作在透明导电氧化物层上,该上电极层为网状分布;一下电极层,其制作在衬底的背面。
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