发明名称 |
基于晶硅光伏技术的硅基GaN发光器件及制备方法 |
摘要 |
一种基于晶硅光伏技术的硅基GaN发光器件,包括:一N型或P型硅(100)的衬底;一随机分布的正金字塔结构,其制作在衬底上;一缓冲反射层,其制作在正金字塔结构的表面,该缓冲反射层的材料为高温AlN或低温AlN;一发光层,其制作在缓冲反射层上,该发光层的表面平行于正金字塔结构表面,或平行于衬底的表面;一透明导电氧化物层,其制作在发光层上,该透明导电氧化物层的表面为一平面;一上电极层,其制作在透明导电氧化物层上,该上电极层为网状分布;一下电极层,其制作在衬底的背面。本发明可以有效地释放外延材料应力,从而得到高质量的外延GaN,制造低成本、高效的发光LED。 |
申请公布号 |
CN104638081A |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201510028792.8 |
申请日期 |
2015.01.20 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
袁国栋;王克超;李晋闽 |
分类号 |
H01L33/22(2010.01)I;H01L33/32(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/22(2010.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种基于晶硅光伏技术的硅基GaN发光器件,包括:一N型或P型硅(100)的衬底;一随机分布的正金字塔结构,其制作在衬底上;一缓冲反射层,其制作在正金字塔结构的表面,该缓冲反射层的材料为高温AlN或低温AlN;一发光层,其制作在缓冲反射层上,该发光层的表面平行于正金字塔结构表面,或平行于衬底的表面;一透明导电氧化物层,其制作在发光层上,该透明导电氧化物层的表面为一平面;一上电极层,其制作在透明导电氧化物层上,该上电极层为网状分布;一下电极层,其制作在衬底的背面。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |