| 发明名称 | 基板保持装置、研磨装置、研磨方法及保持环 | ||
| 摘要 | 一种基板保持装置(1)，具有：对基板(W)进行保持的顶环主体(10)；以及保持环(40)，该保持环(40)配置成包围保持在顶环主体(10)上的基板(W)，保持环(40)具有与研磨垫(2)接触的环状的垫按压部(122)，垫按压部(122)具有3mm以上、7.5mm以下的宽度。采用本发明，即使是连续对多个基板进行研磨的情况下，也可防止基板的边缘部处的研磨速率上升。 | ||
| 申请公布号 | CN104625948A | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201410640498.8 | 申请日期 | 2014.11.13 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 山木晓;安田穗积;并木计介;锅谷治;福岛诚;富樫真吾 |
| 分类号 | B24B37/32(2012.01)I;B24B37/10(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/32(2012.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;刘煜 |
| 主权项 | 一种用于将基板按压到研磨垫上的基板保持装置，该基板保持装置的特征在于，具有：对所述基板进行保持的顶环主体；以及保持环，该保持环配置成包围由所述顶环主体保持的所述基板，所述保持环具有与所述研磨垫接触的环状的垫按压部，所述垫按压部具有3mm以上、7.5mm以下的宽度。 | ||
| 地址 | 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||