| 摘要 |
1. Рентгеношаблон, представляющий собой рентгенопоглощающую структуру, сформированную на несущей мембране, закрепленной на (в) опорном кольце, отличающийся тем, что рентгенопоглощающая структура выполнена из рентгенорезиста.2. Способ изготовления рентгеношаблона, включающий в себя фиксацию несущей мембраны на (в) опорном кольце и формирование на ней рентгенопоглощающей структуры, отличающийся тем, что в качестве несущей мембраны используют бериллиевую фольгу, а в качестве рентгенопоглощающей структуры - резистивную маску, которую формируют методом прямого рисования рентгеновским пучком.3. Рентгеношаблон по п. 1, отличающийся тем, что для формирования резистивной маски используют сенсибилизированный более тяжелыми химическими элементами (входящими в его химическую формулу и/или добавленными в виде наночастиц) рентгенорезист.4. Рентгеношаблон по п. 1, отличающийся тем, что рентгенопоглощающая топологическая структура сформирована с обеих сторон несущей мембраны.5. Способ по п. 2, отличающийся тем, что на финальной стадии изготовления шаблона проводят дополнительную термообработку (hard bake) сформированной резистивной маски. |
