| 发明名称 | 用于定向材料沉积的PVD设备、方法和工件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用物理气相沉积（PVD）技术的定向材料沉积。尤其，本发明涉及PVD设备，其包括：-容纳材料源的真空密闭外部容器，-至少两个衬底，其被布置成定义与所述材料源间隔开的衬底平面，-所述衬底以要被处理的表面面对材料源。这个材料源的直径小于，尤其显著小于衬底中任一个的直径。这样，在低衬底温度下实现了窄角分布和高水平一致性。 | ||
| 申请公布号 | CN104641016A | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201380031955.7 | 申请日期 | 2013.06.18 |
| 申请人 | 欧瑞康先进科技股份公司 | 发明人 | J.维查特 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 谢攀;陈岚 |
| 主权项 | 一种用于定向材料沉积的PVD设备，包括：‑容纳材料源的真空密闭外部容器，‑至少两个衬底，其被布置成定义与所述材料源间隔开的衬底平面，‑所述衬底以要被处理的表面面对材料源，其中所述材料源的直径小于，尤其显著小于衬底中任一个的直径。 | ||
| 地址 | 列支敦士登巴尔策斯 | ||