利用激光偏振选择性烧蚀结合酸蚀制备微通道的方法

摘要

本发明涉及一种利用飞秒激光偏振选择性烧蚀结合化学酸蚀高效率制备微通道的方法，属于飞秒激光应用技术领域，本发明中针对晶态材料特性，通过调节激光偏振参数与材料晶轴夹角，进而调控激光与材料相互作用过程中的局部瞬时电子动态，诱导激光加工区域材料改性，之后辅助化学酸蚀，从而提高微通道的加工效率和加工精度，本方法简单高效，在微流体加工领域有重要研究意义。

主权项

利用激光偏振选择性烧蚀结合酸蚀制备微通道的方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一、以5度为间隔调节偏振角度对材料进行激光改性；步骤二、用浓度为5％‑10％的氢氟酸溶液进行酸蚀，加工出微通道结构，进而得到加工效率最高时对应的偏振角；步骤三、在步骤二得到的加工效率最高时对应的偏振角下用激光对材料进行改性；步骤四、用浓度为5％‑10％的氢氟酸溶液酸蚀，从而得到带有微通道的材料。