发明名称 一种树脂铜盘用研磨盘
摘要 本实用新型涉及晶片加工装置领域,公开了一种树脂铜盘用研磨盘,包括陶瓷盘,陶瓷盘背面设置有把手,且陶瓷盘正面均匀设置有多个钻石砂轮,其中,钻石砂轮为圆形片状,且钻石砂轮的直径为10-50mm,钻石砂轮选择50-400目,所述钻石砂轮的外端面在同一平面上,以保证树脂铜盘的平整度,本实用新型结构简单,操作方便,且提高了工作效率。
申请公布号 CN204339540U 申请公布日期 2015.05.20
申请号 CN201420827332.2 申请日期 2014.12.23
申请人 扬州合晶科技有限公司 发明人 周小勇;蔡伦
分类号 B24B37/16(2012.01)I 主分类号 B24B37/16(2012.01)I
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人 赵秀斌
主权项 一种树脂铜盘用研磨盘,其特征在于,包括陶瓷盘,所述陶瓷盘背面设置有把手,且陶瓷盘正面均匀设置有多个钻石砂轮。
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