用于气体样品的可控压力和湿度的动态稀释装置

摘要

本实用新型公开了一种用于气体样品的可控压力和湿度的动态稀释装置，属于气体稀释技术领域。所述动态稀释装置包括稀释气入口、原料气入口、混合腔、限流结构和混合气出口，其中：稀释气入口和原料气入口均为至少一个，每个稀释气入口和原料气入口分别经一个质量流量控制器连接至混合腔的入口，混合腔的出口经限流结构连接至混合气出口，混合气出口处设置有压力传感器；所述稀释气入口的管路上设置有加湿装置，所述加湿装置和混合腔之间设置有湿度传感器；所述混合腔和限流结构之间设置有手动开关和/或电磁阀。本实用新型能够调整气体的流速，可控性好，可以满足不同湿度和不同浓度的气体的生产需求。

主权项

一种用于气体样品的可控压力和湿度的动态稀释装置，其特征在于，包括稀释气入口、原料气入口、混合腔、限流结构和混合气出口，其中：所述稀释气入口和原料气入口均为至少一个，每个稀释气入口和原料气入口分别经一个质量流量控制器连接至所述混合腔的入口，所述混合腔的出口经所述限流结构连接至所述混合气出口，所述混合气出口处设置有压力传感器；所述稀释气入口的管路上设置有加湿装置，所述加湿装置和混合腔之间设置有湿度传感器；所述混合腔和限流结构之间设置有手动开关和/或电磁阀。