| 摘要 |
1. Пьезоэлектрический датчик, содержащий чувствительный элемент из тонкопленочного пьезоэлектрического материала с электродами на противоположных поверхностях, вектор поляризации которого перпендикулярен электродам, токовыводы, электрически соединенные с электродами, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде микроконтилеверной балки из непроводящего материала с высокими механическими/трибологическими характеристиками с нанесенной на ее поверхность инерционной массой в виде емкостной гетероструктуры на основе смарт-материала, заключенного между электродами.2. Пьезоэлектрический датчик по п.1, отличающийся тем, что в роли смарт-материала выступает пьезоэлектрик с высоким значением точки Кюри. |
