发明名称 |
一种铟的自动长晶控制装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种铟的自动长晶控制装置,包括一端接旋转水套的籽晶轴,其特征在于,所述籽晶轴外套磁流体;所述磁流体本体安装在籽晶轴座上;所述籽晶轴座安置在精密称重传感器上;所述精密称重传感器下端安设有X/Y向调整机构;所述磁流体上端的籽晶轴套接有一被驱同步带轮,该被驱动同步带轮由一边的伺服电机和行星减速机通过主驱动同步带轮和同步带来驱动整个籽晶轴旋转。该装饰对晶体生长过程进行自动化控制,以提高铟的产业化。 |
申请公布号 |
CN204342918U |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201420842961.2 |
申请日期 |
2014.12.23 |
申请人 |
常州爱晶光电设备有限公司 |
发明人 |
李杰;谈建岭;史俊杰 |
分类号 |
C30B29/02(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/02(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种铟的自动长晶控制装置,包括一端接旋转水套的籽晶轴,其特征在于,所述籽晶轴外套磁流体;所述磁流体本体安装在籽晶轴座上;所述籽晶轴座安置在精密称重传感器上;所述精密称重传感器下端安设有X/Y向调整机构;所述磁流体上端的籽晶轴套接有一被驱同步带轮,该被驱动同步带轮由一边的伺服电机和行星减速机通过主驱动同步带轮和同步带来驱动整个籽晶轴旋转。 |
地址 |
213000 江苏省常州市武进区高新区西湖路8号 |