用于氧化物薄膜晶体管的涂层材料

摘要

本发明提供了用于制备金属氧化物薄膜晶体管中的涂层材料的涂层组合物(钝化配方)，其中所述涂层材料包括共混物，该共混物包括可交联组分和稳定剂。将根据本发明的稳定剂掺入涂层材料中可导致金属氧化物薄膜晶体管的改善的器件性能，尤其是，阈值电压的减小的位移以及长期的偏置应力稳定性。

主权项

一种金属氧化物薄膜晶体管，其包括衬底、在所述衬底之上的栅电极、在所述栅电极之上的栅介质、在所述栅介质之上的金属氧化物薄膜半导体、在所述金属氧化物薄膜半导体之上的源电极和漏极电极，其中所述源电极和所述漏极电极被包括所述金属氧化物薄膜半导体的暴露表面的通道区域分隔，以及在所述通道区域以及所述源电极和所述漏极电极之上的涂层材料，其中所述涂层材料包括可交联组分和稳定剂，且其中所述稳定剂能够促进一个或多个低分子量的分子从所述通道的解吸。