工件加工装置

摘要

本发明揭示了一种工件加工装置，包括：工艺腔体及工件承载机构，其中，工件承载机构包括大卡盘及若干小卡盘。大卡盘收容于工艺腔体，大卡盘具有底部及沿底部向上凸起形成的侧墙，大卡盘的底部及侧墙围成容纳空间。若干小卡盘收容于大卡盘的容纳空间，每一小卡盘具有卡盘主体，卡盘主体的顶部向下开设有收容腔以收容工件。通过配置若干小卡盘，当需要同时处理具有相同或不同尺寸及形状的工件时，只需选择具有相应尺寸及形状的收容腔的小卡盘，并将小卡盘安放在大卡盘的容纳空间，而不需要更换整个大卡盘，因此，本发明工件加工装置在使用上更便捷、更灵活，且结构简单，能够同时处理多片工件，提高了工件加工效率，降低了工件加工成本。

主权项

一种工件加工装置，其特征在于，包括：工艺腔体及工件承载机构，所述工件承载机构包括：大卡盘，所述大卡盘收容于工艺腔体，大卡盘具有底部及沿底部向上凸起形成的侧墙，大卡盘的底部及侧墙围成容纳空间；及若干小卡盘，所述若干小卡盘收容于大卡盘的容纳空间，每一小卡盘具有卡盘主体，卡盘主体的顶部向下开设有收容腔以收容工件。