電子線装置及びこれを用いた試料観察方法,申请号JP20130032082-传众专利搜索

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发明名称	電子線装置及びこれを用いた試料観察方法
摘要
申请公布号	JP5719391(B2)	申请公布日期	2015.05.20
申请号	JP20130032082	申请日期	2013.02.21
申请人		发明人
分类号	H01J37/29;H01J37/20	主分类号	H01J37/29
代理机构		代理人
主权项
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