一种Loadport内晶圆状态的距离检测系统

摘要

本发明涉及工业自动化系统控制检测技术领域，提供了一种Loadport内晶圆状态的距离检测系统，第一驱动机构（2）驱动滑台（1）沿导轨（5）上下移动，带动第一连接板（3）在光栅尺（4）上移动，光栅尺（4）记录信息并输出第一信号；滑台（1）沿导轨（5）上下移动带动对射式传感器（9）上下移动，第二驱动机构（14）驱动对射式传感器（9）朝晶圆盒（7）摆动，对射式传感器（9）读取信息并输出第二信号；处理第一信号和第二信号，测量出晶圆盒（7）内晶圆放置信息。本发明通过传感器检测输出信号与光栅尺输出信号做处理，可实现精确检测晶圆盒内晶圆放置状态中的数量、位置以及异常错误，检测精度高，可移植性强，操作简单。

主权项

一种Loadport内晶圆状态的距离检测系统，其特征在于，包括晶圆盒（7）、水平滑台（8）、安装板（13）、滑台（1）、第一驱动机构（2）、导轨（5）、第一连接板（3）、光栅尺（4）、第二连接板（6）、第二驱动机构（14）和对射式传感器（9）；其中，所述安装板（13）与水平滑台（8）连接，水平滑台（8）上放置晶圆盒（7）；所述第一驱动机构（2）安装于所述安装板（13）下半部的左侧，第一驱动机构（2）与滑台（1）固定连接，滑台（1）与第一连接板（3）固定连接；所述第二连接板（6）安装于所述安装板（13）下半部的右侧，第二连接板（6）与光栅尺（4）连接；所述导轨（5）沿竖直方向设置，导轨（5）与滑台（1）连接，所述第一驱动机构（2）驱动滑台（1）沿导轨（5）上下移动，带动第一连接板（3）在光栅尺（4）上移动，光栅尺（4）记录信息并输出第一信号；所述第二驱动机构（14）安装于滑台（1）上，第二驱动机构（14）与对射式传感器（9）连接，滑台（1）沿导轨（5）上下移动带动对射式传感器（9）上下移动，第二驱动机构（14）驱动对射式传感器（9）朝晶圆盒（7）摆动，对射式传感器（9）读取信息并输出第二信号；处理所述第一信号和第二信号，测量出晶圆盒（7）内晶圆放置信息。