一种对超薄玻璃基板的上表面进行异物检查的系统及方法

摘要

本发明公开了一种对超薄玻璃基板的上表面进行异物检查的系统，结构中包括照射玻璃基板上表面的光源装置、成像装置及配套有管理程序的工控机，关键在于：所述光源装置发出的入射光线在玻璃基板上表面的入射角α不大于45°，配套设置的两套成像装置对称设置于玻璃基板上下两侧、分别借助反射光、折射光将附在玻璃基板上、下表面的异物成像、并将数字化数据传送到工控机，工控机借助管理程序对两套成像进行灰度值的强弱变化对比形成系统结论。另外还公开了使用本系统的检查方法，可以精确判断颗粒物是在玻璃基板的上表面还是下表面，降低上表面颗粒尺寸和数量的误判率，提高检查的准确性，减少误判、合理确定良品率。

主权项

一种对超薄玻璃基板的上表面进行异物检查的系统，结构中包括照射玻璃基板（3）上表面的光源装置（1）、成像装置及配套有管理程序的工控机（4），其特征在于：所述光源装置（1）发出的入射光线在玻璃基板（3）上表面的入射角α不大于45°，配套设置的两套成像装置对称设置于玻璃基板（3）上下两侧、分别借助反射光、折射光将附在玻璃基板（3）上、下表面的异物成像、并将数字化数据传送到工控机（4），工控机（4）借助管理程序对两套成像进行灰度值的强弱变化对比形成系统结论。