微机械高精度悬臂梁式微波功率检测系统及其制备方法

摘要

本发明公开了一种微机械高精度悬臂梁式微波功率检测系统及其制备方法，该方法用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，通过悬臂梁耦合器耦合出10％的微波功率，传输给负载电阻，通过热电堆得塞贝克效应将微波功率转化成电势差，通过电势差来测量微波功率的幅度。本发明的微机械高精度悬臂梁式微波功率检测系统是由砷化镓为衬底，在衬底上设有中心信号传输线A、悬臂梁耦合器B、校正电极C以及热电式微波功率传感器D。由于制作后的悬臂梁耦合器易弯曲，当悬臂梁处于上翘状态时，在压焊块上加正电压，当悬臂梁处于下拉状态时，在压焊块上加负电压，最终使悬臂梁恢复平整，从而提高系统检测的精确度。

主权项

一种微机械高精度悬臂梁式微波功率检测系统，其特征在于：所述系统是由砷化镓为衬底，在衬底上设有中心信号传输线、悬臂梁耦合器、校正电极以及热电式微波功率传感器组成；所述的悬臂梁耦合器是在中心信号传输线上设有悬臂梁，当微波信号从中心信号传输线端口(A)向端口(B)传输时，悬臂梁会耦合出10％的微波信号；所述的校正电极，当制作后的悬臂梁弯曲，悬臂梁处于上翘状态时，就在压焊块上加正电压，反之，当悬臂梁处于下拉状态时，在压焊块上加负电压，最终使悬臂梁恢复平整；所述的热电式微波功率传感器是由共面波导传输线、两对并联电阻、热电堆、输出电压端口和稳定热电堆冷端温度的金属块组成。