| 发明名称 | 一种聚集离子束的真空系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种聚集离子束的真空系统，所述真空系统包括真空泵、分子泵、样品室、气缸阀和排气阀，所述真空泵通过管道分别与分子泵、样品室连接，所述样品室安装在分子泵的顶部，所述气缸阀位于分子泵与样品室之间，所述气缸阀与分子泵密封连接，所述排气阀安装在真空泵与样品室之间的管道上。本实用新型提供的聚集离子束的真空系统的工作效率高、能完全避免分子泵损坏。 | ||
| 申请公布号 | CN204348679U | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201420872273.0 | 申请日期 | 2014.12.27 |
| 申请人 | 上海聚跃电子科技有限公司 | 发明人 | 尚跃;余夕霞 |
| 分类号 | H01J41/12(2006.01)I | 主分类号 | H01J41/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种聚集离子束的真空系统，其特征在于，所述真空系统包括真空泵、分子泵、样品室、气缸阀和排气阀，所述真空泵通过管道分别与分子泵、样品室连接，所述样品室安装在分子泵的顶部，所述气缸阀位于分子泵与样品室之间，所述气缸阀与分子泵密封连接，所述排气阀安装在真空泵与样品室之间的管道上。 | ||
| 地址 | 200233 上海市徐汇区桂平路680号32幢402室 | ||