| 摘要 |
Микроэлектромеханический осевой акселерометр, содержащий корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала, инерционную массу, выполненную в виде пластины из кремния, расположенную с зазором относительно корпуса, упругие перемычки, образующие упругий подвес, обеспечивающий перемещение инерционной массы вдоль первой оси, лежащей в плоскости инерционной массы, емкостной датчик выходного сигнала, выполненный в виде четырех идентичных секций, расположенных симметрично относительно центральной точки устройства, связанных между собой электрически и включенных по дифференциальной схеме, электронную схему обработки сигналов и анкеры, отличающийся тем, что введена наружная прямоугольная рамка из кремния, расположенная с зазором относительно корпуса, в центре каждой из сторон которой выполнены прямоугольные прорези, внутри которых размещены анкеры, связанные с наружной рамкой четырьмя упругими перемычками, не допускающими линейные перемещения наружной рамки вдоль первой и второй осей, внутри наружной рамки размещена инерционная масса, в центре которой выполнена сквозная прорезь прямоугольной формы, внутри которой размещены первая и вторая идентичные внутренние рамки из кремния прямоугольной формы, расположенные симметрично по обе стороны второй оси прямоугольной системы координат с началом в центре устройства, центры масс каждой из двух внутренних рамок расположены на первой оси, внутри каждой из рамок, в их центральных частях, размещены анкеры, связанные с каждой из рамок упругими перемычками, не допускающими линейные перемещения каждой из рамок вдоль первой и второй осей, на двух наруж |
