发明名称 |
N型双面背接触晶体硅太阳能电池的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种N型双面背接触晶体硅太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:(1)制绒;(2)在硅片的正面和背面均设置氧化膜;(3)印刷腐蚀浆料,腐蚀去除位于硅片背面的非通孔方块区域的氧化膜;所述硅片背面的通孔方块区域包括硅片背面的孔及孔的周围区域;(4)扩磷;(5)开孔;(6)刻蚀、清洗;(7)扩硼;(8)刻蚀;(9)设置钝化减反射膜;(10)在孔内设置孔金属电极;双面印刷金属电极,烧结;即可得到N型双面背接触晶体硅太阳能电池。本发明解决了背面通孔方块区域不能掺磷的问题,在太阳能电池背面与导电孔,以及背面方块区电极之间不会形成接触漏电。 |
申请公布号 |
CN102694069B |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201210166816.2 |
申请日期 |
2012.05.27 |
申请人 |
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯(中国)投资有限公司 |
发明人 |
王登志;殷涵玉;王栩生;章灵军 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 |
代理人 |
陶海锋;陆金星 |
主权项 |
一种N型双面背接触晶体硅太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1) 在N型硅片的正面和背面进行制绒;(2) 在上述硅片的正面和背面均设置氧化膜;(3) 在硅片的背面印刷腐蚀浆料,腐蚀去除位于硅片背面的非通孔方块区域的氧化膜;所述硅片背面的通孔方块区域包括硅片背面的孔及孔的周围区域;(4) 在硅片的背面进行扩磷,形成扩磷层;(5) 在硅片上开孔;(6) 刻蚀周边结、去除硅片正面和背面的氧化膜、清洗;(7) 在硅片的正面和孔内进行扩硼,形成扩硼层;(8) 刻蚀周边结;去除硅片表面的杂质玻璃;(9) 在硅片的正面和背面设置钝化减反射膜;(10) 在孔内设置孔金属电极;双面印刷金属电极,烧结;即可得到N型双面背接触晶体硅太阳能电池。 |
地址 |
215129 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号 |