处理装置

摘要

本发明提供一种处理装置，能够不用手工操作进行环状隔壁构件位置的改变或更换和处理气体喷出部自身的更换，改变处理气体的喷出位置。具有与载置台(4)对置设置在处理室(2)内并喷出处理气体的处理气体喷出部(5)；在处理气体喷出部(5)内通过隔壁(14)互相分隔设置的具有喷出处理气体喷出孔(16)的与被处理体面内的中心部分对应的第一空间(15a)、与被处理体面内的边缘部分对应的第二空间(15i)、设置在第一空间(15a)与第二空间(15i)之间的至少一个第三空间(15b)～(15h)；和包含连通这些空间的处理气体分配管(18a)～(18i)、开闭邻接的处理气体分配管(18a)～(18i)彼此之间的阀(19a)～(19h)的处理气体分配单元(12)。

主权项

一种处理装置，其特征在于：该处理装置能够根据被处理体面内的位置改变向所述被处理体喷出的处理气体的供给量和气体种类的至少一方，该处理装置包括：使用所述处理气体对所述被处理体实施处理的处理室；设置在所述处理室内、载置所述被处理体的载置台；与所述载置台对置设置在所述处理室内、向所述处理室喷出所述处理气体的处理气体喷出部；空间组，其包含：在所述处理气体喷出部内，经由隔壁相互分隔设置并具有喷出所述处理气体的喷出孔的第一空间、第二空间和设置在所述第一空间与所述第二空间之间的至少一个第三空间，其中，所述第一空间与所述被处理体面内的中心部分对应，所述第二空间与所述被处理体面内的边缘部分对应；处理气体分配单元，其包括：包含连通于所述第一空间、所述第二空间、所述至少一个第三空间的处理气体分配管的处理气体分配管组，和包含对邻接的所述处理气体分配管彼此之间进行开闭的阀的阀组；第一处理气体流通的第一处理气体主供给管；和供给量和气体种类的至少一方与所述第一处理气体不同的第二处理气体流通的第二处理气体主供给管，所述第一处理气体主供给管连接于所述处理气体分配管组中的与所述第一空间连通的第一处理气体分配管，所述第二处理气体主供给管连接于所述处理气体分配管组中的与所述第二空间连通的第二处理气体分配管，所述第一处理气体、所述第二处理气体的喷出位置的切换，是通过关闭所述阀组内的一个阀进行的。