发明名称 |
一种制备主动电压对比度分析样品的方法 |
摘要 |
本发明一种主动测试电压对比度失效定位方法,其中,包括以下工艺步骤:步骤一,将所要测试的样品通过导电双面胶带黏贴在支撑盘上;步骤二,在支撑盘上黏贴单面隔离胶带,并使单面隔离胶带的两端接近被测样品;步骤三,在单面隔离胶带上设有多个电池,并在每两个电池之间设有垫片连接,之后在首端电池的顶面设有一单面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上,在末端电池的底面设有一双面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上;步骤四,利用引线将单面隔离胶带上的单面导电胶带与双面导电胶带远离电池的一端与被测样品的压点连接;步骤五,对被测样品进行测试。通过本发明一种主动测试电压对比度失效定位方法,能够有效地使操作检测方式变得简易,不需要操作者对其有很丰富的操作经验,使用操作成本低廉,同时能够灵活性的对测试样品进行测试。 |
申请公布号 |
CN102621437B |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201210066520.3 |
申请日期 |
2012.03.14 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
陈强 |
分类号 |
G01R31/02(2006.01)I;G01Q30/02(2010.01)I |
主分类号 |
G01R31/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
王敏杰 |
主权项 |
一种制备主动电压对比度分析样品的方法,其特征在于,包括以下工艺步骤:步骤一,将所要测试的样品通过导电双面胶带黏贴在支撑盘上;步骤二,在支撑盘上黏贴单面隔离胶带,并使单面隔离胶带的两端接近被测样品;步骤三,在单面隔离胶带上设有多个电池,并在每两个电池之间设有垫片连接,之后在首端电池的顶面设有一单面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上,在末端电池的底面设有一双面导电胶带并黏贴在单面隔离胶带上;步骤四,利用引线将单面隔离胶带上的单面导电胶带与双面导电胶带远离电池的一端分别与被测样品的两端压点连接;步骤五,对被测样品进行测试。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |