发明名称 |
基于纳米线的透明导体及对其进行构图的方法 |
摘要 |
本发明描述了一种对基于纳米线的透明导体进行构图的方法。具体地,该方法涉及产生低可见性图案或不可见图案的部分蚀刻。 |
申请公布号 |
CN102834936B |
申请公布日期 |
2015.05.20 |
申请号 |
CN201180011069.9 |
申请日期 |
2011.02.23 |
申请人 |
凯博瑞奥斯技术公司 |
发明人 |
代海霞;那朔;迈克尔·A·斯贝德;杰弗瑞·沃克 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;B82Y40/00(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L51/10(2006.01)I;H01L51/44(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I;B82Y10/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 |
代理人 |
余朦;姚志远 |
主权项 |
一种光学一致的透明导体,包括:衬底;传导膜,在所述衬底上,所述传导膜包括多个互连的纳米结构,其中所述传导膜上的图案限定(1)未蚀刻区域,具有第一电阻率、第一透射率以及第一霾以及(2)被蚀刻区域,具有第二电阻率、第二透射率以及第二霾;以及其中,所述被蚀刻区域的传导性小于所述未蚀刻区域,所述第一电阻率与所述第二电阻率之比至少为1000;所述第一透射率与所述第二透射率之差小于5%;并且所述第一霾与所述第二霾之差小于0.5%。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |