| 摘要 |
Es wird eine Vorrichtung (1) zum wenigstens Entleeren eines Transportbehälters (2) gezeigt, der einen Stapel (3) an plattenförmigen Gegenständen (4), umfassend Halbleiterwafer (5) und/oder Verpackungsmaterial (6), aufweist, mit mindestens einer Messeinrichtung (11), mit einem in den Transportbehälter (2) zumindest teilweise einfahrbaren Halter (7), der eine Haltefläche (8), mehrere Haltedüsen (9) zum wenigstens Halten eines Gegenstands (4) des Stapels (3) und im Bereich der Haltefläche (8) zumindest eine Ausnehmung (10) für die Messeinrichtung (11) zur Messdatenerfassung vom Gegenstand (4) des Stapels (3) aufweist. Um ein sicheres und kostengünstiges Entleeren des Transportbehälters zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, dass der Halter (7) mindestens eine außerhalb der Haltefläche (8) derart von einer Ruhelage (14, 15) in eine Separierlage (16, 17) beweglich angeordnete Separierdüse (12, 13) aufweist, dass sich in der Separierlage (16, 17) der Separierdüse (12, 13) eine auf die Stirnseite (20) des Stapels (3) gerichtete Gasströmung (18, 19) ausbildet, um damit mindestens einen am vom Halter (7) gehaltenen Gegenstand (21) anhaftenden anderen Gegenstand (22) des Stapels (3) zu lösen. |
