相移及相倾可切换双模式干涉测量装置及其测量方法

摘要

本发明提供相移及相倾可切换双模式干涉测量装置及方法，涉及光干涉计量测试领域，方法步骤为：首先，在干涉仪的参考镜处安装位移调整装置，可对参考镜进行平移或者倾斜调整。其次，干涉仪采用相移和相倾测试两种模式。在相移测试模式下，位移调整装置对参考镜位置进行等间隔平移调整，得到四幅相移干涉图，每一幅干涉图的相移量均为，干涉仪探测接收干涉图，并将其传入计算机，利用四步相移算法恢复待测件的被测相位；在相倾测试模式下，位移调整装置对参考镜进行推进以及倾斜调整，干涉仪探测接收大于6幅干涉图，并将其传入计算机，通过相倾干涉算法恢复待测件的被测相位。本发明结构简单，可在振动测量环境下得到高精度的干涉测量信息。

主权项

一种相移及相倾可切换双模式干涉测量装置，其特征如下：包括干涉仪[26]，参考镜[25]，参考镜位移调整装置和计算机[3]，位移调整装置设置在干涉仪[26]光线出射口前端，干涉仪[26]与计算机[3]连接；位移调整装置包括第一压电陶瓷驱动器[21]、第二压电陶瓷驱动器[22]、第三压电陶瓷驱动器[23]和参考镜夹持结构[24]；参考镜夹持结构[24]为环形结构，参考镜[25]放置在参考镜夹持结构[24]的圆环中心，第一压电陶瓷驱动器[21]、第二压电陶瓷驱动器[22]、第三压电陶瓷驱动器[23]均匀对称分布在参考镜夹持结构[24]的外环圆周上。