| 摘要 |
<p>정밀도가 높은 정제를 행할 수 있을 뿐만 아니라, 여과의 효율을 대폭으로 향상시킬 수 있는 여과용 필터의 제조 방법을 제공한다. 기판(11) 상에 유로 형성막(12)을 형성하고, 유로 형성막(12)에 기판(11)의 표면을 따르는 복수의 홈(17)을 에칭으로 형성하며, 각 홈(17)을 희생막(18)으로 충전하고, 희생막(18)을 연마하여 유로 형성막(12)의 표면 및 희생막(18)의 표면을 평탄화하며, 평탄화된 유로 형성막(12) 및 희생막(18) 상에 유로 밀봉막(13)을 형성하고, 기판(11) 및 유로 밀봉막(13)의 각각의 일부에 에칭으로 유입 구멍(14) 및 유출 구멍(15)을 형성하며, 유입 구멍(14) 및 유출 구멍(15)에 희생막(18)의 일부를 노출시키고, 유입 구멍(14) 및 유출 구멍(15)을 통해 희생막(18)을 제거하여, 각 여과용 유로(16)를 각 홈(17)으로 형성하여 여과용 필터(10)를 제조한다.</p> |
