| 摘要 |
<p>본 발명은 이온빔 조사장치를 클리닝하는 동시에 장치의 가동률을 각별히 향상시킨다. 카세트(7)와 처리실(5) 사이에서, 미처리 기판과 이온빔 조사 처리된 기판의 기판 교환 작업을 복수회 실시하는 기판 반송부(102)와, 처리실(5)에 이온빔(3)을 공급하기 위한 이온빔 공급부(101)를 구비하고 있는 이온빔 조사장치로, 적어도 1회의 기판 교환 작업과 병행해서, 이온빔 공급부(101)의 운전 파라미터를 설정 변경함으로써 이온빔 공급부(101) 내부를 클리닝한다.</p> |
