发明名称 Method of alignment a nanowire through self-assembly method
摘要 <p>본 발명은 자기조립법을 이용한 나노선의 정렬방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 자기조립법을 이용한 나노선의 정렬방법은 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판 상에 PDMS 스탬프를 사용한 광스탬핑 전사방법을 수행하여 PDMS 패턴을 형성하는 단계와, 상기 PDMS 패턴이 형성된 기판을 SAMs 용액에 담궈 단분자막을 형성하는 단계와, 상기 기판상의 단분자막 상에 나노선을 정렬하는 단계를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101521659(B1) 申请公布日期 2015.05.19
申请号 KR20080128863 申请日期 2008.12.17
申请人 发明人
分类号 B82B1/00;B82B3/00;G03F7/00;H01L21/027 主分类号 B82B1/00
代理机构 代理人
主权项
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