FILLED POLYMER COMPOSITION FOR ETCH CHAMBER COMPONENT
摘要
<p>개선된 플라즈마 내성을 갖는 충전된 폴리머 조성물이 개시된다. 그러한 조성물은 폴리머 매트릭스에 분산된 입자 충전재를 포함한다. 입자 충전재는 NbO, YF, AlN, SiC, 또는 SiN, 및 희토류 옥사이드일 수 있다. 한 가지 구체예에서, 조성물은 정전 척을 위한 결합 접착제, 샤워 헤드를 위한 결합 접착제, 라이너를 위한 결합 접착제, 밀봉 재료, O-링, 또는 플라스틱 부품으로서 사용된다.</p>
