| 摘要 |
<p>운송 방향을 따르는 기판 이송을 위한, 그리고 상기 운송 방향을 따라 연장되는, 제 1 운송 경로와 제 2 운송 경로 사이의 변경을 위한 이송 디바이스가 제공된다. 제 1 운송 경로는, 운송 방향에 대해 수직인 스위치 방향으로 제 2 운송 경로에 대하여 변위된다(displaced). 이송 디바이스는, 챔버에서 기판 또는 기판 캐리어를 지지하기 위한 제 1 트랙을 정의하는 제 1 기판 지지 어셈블리를 포함한다. 이송 디바이스는, 챔버에서 기판 또는 기판 캐리어를 지지하기 위한 제 2 트랙을 정의하는 제 2 기판 지지 어셈블리를 더 포함한다. 제 1 기판 지지 어셈블리 및 제 2 기판 지지 어셈블리는, 적어도 스위치 방향으로 서로에 대하여 이동가능하다.</p> |
