| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING A METAL-BOROCARBIDE LAYER ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
<p>본 발명은 하나 이상의 미정질 금속성 보로카바이드 상을 포함하는 층을 구비한 기판을 코팅하기 위한 PVD 공정에 관한 것이다. PVD 공정 동안, 소스 출력은 펄스화되어, 반값 강도의 폭이 금속성 보로카바이드 층의 미정질상의 존재를 도시한다는 것을 나타내는 하나 이상의 피크가 600℃ 미만의 기판 온도에서 이러한 방식으로 생성된 층의 x-선 스펙트럼에서 식별될 수 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150053959(A) |
申请公布日期 |
2015.05.19 |
| 申请号 |
KR20157008824 |
申请日期 |
2013.09.09 |
| 申请人 |
OERLIKON TRADING AG, TRUBBACH |
发明人 |
ARNDT MIRJAM;RUDIGIER HELMUT;BOLVARDI HAMID;SCHNEIDER JOCHEN |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/32;C23C14/34;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
