发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要 <p>(과제) 피(被)처리체가 대형화된 경우라도, 덮개체의 두께를 과도하게 크게 하는 일 없이, 덮개체의 중량 증가를 억제한다. (해결 수단) 열처리 장치(1)는 피처리체(W)를 수용하여 열처리하기 위한 처리 용기(3)와, 처리 용기(3)의 둘레를 덮는 단열재(16)와, 단열재(16) 내주면에 설치된 히터(5)를 갖는 열처리로(2)와, 처리 용기(3)의 로의 입구(3a)를 폐색하는 덮개체(10)와, 덮개체(10) 상에 보온통(11)을 통하여 지지되고 피처리체(W)를 다단으로 지지하는 지지구(12)를 구비하고 있다. 덮개체(10)는 스테인레스 등의 내식성(anticorrosive) 금속제로 되어 있고, 하방을 향하여 돌출하는 만곡판으로 이루어진다.</p>
申请公布号 KR101521464(B1) 申请公布日期 2015.05.19
申请号 KR20120048429 申请日期 2012.05.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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