| 摘要 |
<p>본 발명은 센서 다이어프램의 구속에 의한 응력 발생을 저감하고, 또 다이어프램 엣지에 응력이 집중되어 버리는 것을 방지하여, 기대되는 내압을 확보하는 것을 과제로 한다. 스토퍼 부재(11-2)의 둘레 가장자리부(11-2c)에, 그 둘레 가장자리부(11-2c)의 비접합 영역(S1b)에 연속하는, 스토퍼 부재(11-2)의 두께 방향으로 돌출된 고리형 홈(11-2d)을 형성하고, 스토퍼 부재(11-3)의 둘레 가장자리부(11-3c)에, 그 둘레 가장자리부(11-3c)의 비접합 영역(S2b)에 연속하는, 스토퍼 부재(11-3)의 두께 방향으로 돌출된 고리형 홈(11-3d)을 형성한다. 이에 따라, 고리형 홈(11-2d, 11-3d)의 내부에 응력이 분산되게 되어, 다이어프램 엣지에 응력이 집중되어 버리는 것이 방지된다.</p> |
