| 摘要 |
본 발명은 스패터링 재료를 타겟 표면(3) 위로 분출하기 위한 적어도 하나의 노즐 수단(1) 및 노즐 수단의 분출 특징들을 제어하기 위한 노즐 제어 기구(4)를 포함하는, 핸드헬드형의, 동적으로 이동 가능한 표면 스패터링 장치(9)에 관한 것이다. 또한, 그것은 스패터링 재료 공급장치(5), 스토리지 상에 기억된 CAD-모델 또는 디지털 이미지로 미리 규정되고 포함된 원하는 스패터링데이터(6)를 갖는 스토리지, 타겟 표면에 대해 스패터링 장치를 참조하기 위한 공간 참조 유닛(7) 및 공간 참조 유닛에 의해 얻어진 정보에 따라 그리고 타겟 표면이 원하는 스패터링데이터에 따라 스패터링되는 방식으로 노즐 수단의 분출 특징들을 변경하여 평가되고 조정되는 원하는 스패터링데이터에 따라 노즐 제어 기구에 의해 분출을 자동으로 제어하기 위한 계산 수단(8)을 포함한다. |
