Piezoresistance Sensor module and MEMS Sensor having the same

摘要

본 발명의 일실시예에 따른 압저항 감지모듈은 압저항체와, 상기 압저항체의 일부영역에 형성된 디플리션 레이어(depletion layer)와, 상기 디플리션 레이어 및 압저항체의 일면을 커버하도록 형성된 절연체와, 상기 디플리션 레이어에 대향되도록 상기 절연체에 형성된 피에조 일렉트릭 캐패시터(piezoelectric capacitor)를 포함한다.