| 摘要 |
(과제) 진공 펌프에 있어서, 압력이 높고 생성물(퇴적물)이 퇴적되기 쉬운 부분인 나사홈식 펌프부의 하측에, 단열재를 설치하지 않고 생성물의 퇴적을 방지하는 진공 펌프에 설치되는 고정측 부재, 및, 상기 고정측 부재를 구비하는 진공 펌프를 제공한다. (해결 수단) 나사홈식 펌프부를 구비한 진공 펌프에, 열전도율의 값이 소정의 값보다도 작아지도록 구성된 나사홈 스페이서를 설치한다. (1) 나사홈 스페이서를, 나사홈 스페이서와 대향 또는 접촉하는 부재보다도 열전도율의 값이 작은 재료로 제조한다. 구체적으로는, 알루미늄 또는 알루미늄 합금보다도 열전도율의 값이 작은 재료이며, 스테인리스 스틸, 강화 섬유 플라스틱, 폴리에테르이미드, 폴리에테르에테르케톤중 어느 하나인 것이 바람직하다. (2) 나사홈 스페이서를, 적어도 2개 이상의 복수의 부품군으로 구성하여 설치한다. |
