| 摘要 |
<p>광도파관, 광도파관을 형성하는데 유효한 방법 및 시스템, 및 광도파관을 포함하는 광학 시스템에 대한 기술이 일반적으로 설명된다. 일부 예시에서, 광도파관은 실리콘 기판의 벽 내 실리콘 산화질화물 영역을 포함할 수 있다. 실리콘 산화질화물 영역은 광도파관의 내부 영역을 정의할 수 있다. 벽은 비아를 정의할 수 있다. 광도파관은 기판 내 실리콘 산화물 영역을 포함할 수 있다. 실리콘 산화물 영역은 내부 영역에 인접하여 광도파관의 외부 영역을 정의할 수 있다.</p> |
