| 摘要 |
本発明の課題は、使用済みの研磨材スラリーから、効率的な方法で研磨材を回収し、その後、簡易な方法で高純度の再生研磨材を得ることができる研磨材再生方法を提供することである。本発明の研磨材再生方法は、使用済みの研磨材スラリーから、該研磨材スラリーに含まれる研磨材を再生する研磨材再生方法であって、該研磨材が、ダイアモンド、窒化ホウ素、炭化ケイ素、アルミナ、アルミナジルコニア及び酸化ジルコニウムから選ばれる少なくとも一種の研磨材であり、研磨機から排出される研磨材スラリーを回収するスラリー回収工程Ａ、回収した研磨材スラリーに対し、無機塩としてアルカリ土類金属塩を添加して研磨材を凝集させ、該研磨材を母液より分離濃縮する分離濃縮工程Ｂ及び該分離濃縮した研磨材を回収する研磨材回収工程Ｃを経て研磨材を再生することを特徴とする。 |
