| 摘要 |
이 발명은 작동면에 레이저 광(1)을 포커싱하는 장치로서, 편향 거울(2); 오프셋(d)을 가진 렌즈 정점들(S1, S2)을 가지며 제 1 투과 부분(32) 및 상기 제 1 투과 부분(32)과는 다른 제 2 투과 부분(33)을 포함하는 원통형 렌즈 수단(3); 및 광축(O)을 가진 역반사체 수단;을 포함하고, 상기 편향 거울(2)은 장치의 작동 동안 레이저 광(1)을 편향시킬 수 있도록 장치의 빔 경로 내에 배치됨으로써, 레이저 광이 역반사체의 광축(O)에 대해 실질적으로 평행하게 전파될 수 있고 실린더 렌즈 수단(3)의 제 1 투과 부분(32)을 통해 투과될 수 있으며, 후속해서 역반사체 수단에 의해 역반사될 수 있어서, 레이저 광(1)이 실린더 렌즈 수단(3)의 제 2 투과 부분(33)을 통해 투과될 수 있고 작동면(5) 내에 포커싱될 수 있다. 또한, 이 발명은 레이저 광의 포커싱 방법에 관한 것이다. |
