液晶显示器用阵列基板的制造方法;MANUFACTURING METHOD OF AN ARRAY SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY

摘要

一种制造液晶显示器用阵列基板的方法，该方法包括：a)在基板上形成栅线；b)在具有栅线的基板上形成栅绝缘层；c)在栅绝缘层上形成半导体层；d)在半导体层上形成源极和漏极；以及e)形成与漏极连接的像素电极，其中，a)或d)步骤包括：在基板或半导体层上形成Cu基金属膜，和藉由使用蚀刻剂组合物蚀刻Cu基金属膜来形成栅线或源极和漏极，并且蚀刻剂组合物是用于Cu基金属膜的蚀刻剂组合物，基于组合物的总重量，包括：5~25重量%的过氧化氢(H2O2)；0.1~5重量%的亚磷酸；0.01~1.0重量%的含氟化合物；0.1~5重量%的唑化合物；0.1~5重量%的在分子中具有N原子和羧基的水溶性化合物；0.1~5重量%的硫酸盐化合物；以及余量的水，以使得组合物的总重量为100重量%。