用于基板之支承配置及应用其之设备及方法;HOLDING ARRANGEMENT FOR SUBSTRATES AND APPARATUS AND METHOD USING THE SAME

摘要

一种用于在真空层沉积期间支承一基板(20)之支承配置(10)系提供。支承配置(10)包括一框架(30)，具有二或多个框件(31、32、33、34)，框件(31、32、33、34)形成一开口；以及一弹性构件(40)，配置以提供作用于数个基板边缘之数个部分之一夹持力，用于在所述之基板边缘夹持基板(20)。